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微波等離子清洗技術(shù)的應(yīng)用優(yōu)勢

作者:小編 日期:2023-10-20 21:52:16 點(diǎn)擊數(shù):

在集成電路封裝過程中,會(huì)產(chǎn)生各類污染物,包括小分子有機(jī)物、光刻膠殘留、環(huán)氧樹脂和氧化物等,會(huì)降低產(chǎn)品封裝質(zhì)量。微波等離子清洗技術(shù)作為一種干法清洗技術(shù),可以有效去除這些污染物,改善材料表面性能,增加材料表面能量。

集成電路的不斷發(fā)展與印制電路板結(jié)構(gòu)尺寸的不斷減小,呼喚芯片集成技術(shù)和芯片封裝的持續(xù)發(fā)展。然而在其封裝工藝中存在的污染物一直困擾著人們,而利于環(huán)保、清洗均勻性好、損傷小、重復(fù)性好、可控性好、具有三維處理能力及方向性選擇處理的微波等離子清洗工藝,將為大家解決這一問題。

等離子清洗是用等離子體通過化學(xué)或物理作用對工件表面進(jìn)行分子水平處理,去除沾污,改善表面性能的工藝過程。對應(yīng)不同的污染物,應(yīng)采用不同的清洗工藝。根據(jù)選擇的工藝氣體不同,分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。


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