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微波等離子清洗機 EMP-80
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微波等離子清洗機 EMP-80

微波等離子清洗技術具備無損傷、效率高、無電極濺射污染等諸多特點,能夠徹底清潔和處理材料表面的污染物,尤其適合敏感芯片的封裝清洗。

EMP-80 是一款經濟型立柜式系統,能夠高效地去除材料表面有機污染物以及自然氧化層,活化材料表面,提高粘接、焊接的質量,且不會對物料造成物理轟擊損傷。


腔體內部尺寸

W400×H495×D435mm

微波功率

2.45 GHz,100-1000W可調

工藝氣路

標準1路,包括質量流量計和控制電磁閥等

真空規

Pirani真空計

控制系統

PLC觸摸屏控制

真空

雙級旋片式真空泵

電源

380V,50Hz,4.5KW 含真空泵

外形尺寸

W850×H1600×D1070mm(不含三色燈和觸摸屏)

主要應用

材料表面有機污染物去除、表面活化、氧化物還原、光刻膠底膜去除以及表面聚合涂層等


【產品特點】

無損傷清洗

完美兼顧物理和化學清洗方式

超潔凈清洗效果

優秀的去氧化清洗能力

工藝溫度低


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