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哪些工件器件可以進行真空等離子清洗?

作者:opto-intel 日期:2023-11-21 11:35:08 點擊數:

作為真空等離子清洗技術,選取的工件器件首先得是要能真空兼容的。因為,在真空環境下,一些材料的性質可能會發生變化。有的材料會在真空下因內部氣壓而自身體積發生膨脹,有的材料會在真空下因釋放大量內部物質而發生收縮或變得干燥。另外,真空下的材料散熱情況與大氣下有很大差異,可能會導致某些工件器件不能正常工作。

因此,簡單來說,對于需要真空等離子清洗的工件器件確保其能夠在真空環境下不會釋放有害物質,也不會發生內壓爆炸的現象,這是安全操作的前提。

那么,當工件器件滿足真空兼容的條件,一般都是可以用于真空等離子清洗的,只是要選擇合適的工藝氣體,比如氧氣/氮氣/氬氣/氫氣等。另外,當使用這些常規氣體作為微波等離子清洗的工藝氣體時,清洗工藝對真空腔體通常也不會有什么影響。



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